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国内唯一12英寸CMP设备制造商!华海清科要来科创板了 背后清华系实控(1)

国内唯一12英寸CMP设备制造商!华海清科要来科创板了 背后清华系实控(1)
2020-10-16 10:16:52 来源:科创板日报

又一家国产半导体核心设备厂商正奔赴科创板。

10月15日,上交所受理了华海清科股份有限公司(下称“华海清科”)的科创板申报材料,公司主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。

《科创板日报》记者了解到,CMP设备主要用于单晶硅片制造和芯片制造前道工艺,其是集成电路制造设备中较为复杂和研制难度较大的设备之一,也是任何芯片制造商不可或缺的必备工具。

招股书显示,由华海清科生产的CMP设备,其主流机型不仅填补了国内空白,同时打破了国际巨头在此领域数十年的垄断,“公司是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商”。

截至招股书披露,华海清科CMP设备已累计出货43台,在手订单26台,其设备已经应用在中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔、长鑫存储、厦门联芯、广州粤芯、上海积塔等国内外集成电路制造商的大生产线中。

实现进口替代

CMP设备有多重要?据了解,今天生产的每块微处理器都使用铜连线,而唯一能够对铜金属层进行抛光的CMP设备更是任何芯片制造商不可或缺的必备工具。

但与半导体设备光刻机类似,CMP设备此前也面临着“卡脖子”的窘境。随着前期CMP设备厂商的“厮杀角逐”,市场格局逐渐集中在2018年的两大国际龙头企业——美国应用材料和日本荏原,前述两家公司的市场份额在2018年合计达到90%。

因此,尽管2019年大陆CMP设备市场规模达4.6亿美元,但绝大部分的高端CMP设备仍然依赖于进口。

那么,对于生产CMP设备的厂商而言,如何才能衡量一个厂家CMP设备研发技术水平?《科创板日报》记者在招股书中找到一个答案:12英寸CMP设备是业界公认的衡量研发技术水平高低的标杆产品。

按照上述标准去衡量,除美国应用材料和日本荏原外,华海清科是目前国内唯一实现 12 英寸系列CMP设备量产销售的半导体设备供应商。

《科创板日报》记者了解到,华海清科的CMP设备主要包括300系列和200系列,CMP200系列主要包含8英寸CMP设备,300系列则涉及12英寸CMP设备。与8英寸相比,12英寸CMP设备直径增长50%、面积扩大125%,其精度要求更高,需要更先进的抛光头超精密分区压力控制技术和更先进的终点检测技术。

另据招股书显示,华海清科生产的12英寸系列CMP设备已获得了多个集成电路制造商的认可。据统计长江存储、华虹无锡、上海华力一二期项目、上海积塔在中国国际招标网上公布的2019年至2020年9月期间CMP设备采购项目的评标结果及中标结果:华海清科中标8台,占比21.05%;2020年1-9月共招标采购68台CMP设备,其中华海清科中标28台,占比41.18%;12英寸CMP设备的其余市场份额由美国应用材料、日本荏原取得。

扣非利润持续亏损

300系列同样也是华海清科的主要营收来源,2017年至今年1-6月,该系列产品实现营收分别为 1330万元、3174.27万元、1.95亿元和3850万元,占各期营收的比重分别为69.33%、89.01%、92.39%以及63.85%。

可以明显的看到,2019年华海清科300系列形成的销售收入较2018年增长了1.63亿元,同比增长513.94%,对此公司解释称,是当期有12台300系列 CMP 产品确认销售收入(注:当期一种只生产了13台300系列),且随着公司推出升级功能和配置、性能更佳的新产品,例如 300Dual 型产品,导致当年确认收入的300系列产品的平均单价较去年有所提升。

值得注意的是,CMP设备发出后需在客户生产线上进行安装、调试,并在客户的生产线上完成工艺测试、获得客户验收后方可确认销售收入,因此上述12台确认销售收入的设备是当期生产的设备所确认的收入,还是此前年度生产的设备在今年确认的收入,华海清科未具体披露。

关键词:华海清科

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